高端生長設(shè)備與新型微納電子材料

新材料及其應(yīng)用

新型微納電子材料的不斷涌現(xiàn)，尤其是最近幾年二維材料（石墨烯、二硫化鉬、拓?fù)浣^緣體等）的出現(xiàn)，對生長設(shè)備提出了更高的要求。在科研生產(chǎn)領(lǐng)域，以分子束外延系統(tǒng)為代表的高端生長設(shè)備，長期被歐美進(jìn)口設(shè)備所壟斷。目前，國內(nèi)的真空設(shè)備廠家的技術(shù)加工的硬件水平已經(jīng)達(dá)標(biāo)，所欠缺的就是一個(gè)整體系統(tǒng)設(shè)計(jì)。徐永兵課題組的青年千人何亮教授在超高真空薄膜生長領(lǐng)域，具有超過十五年的研究工作經(jīng)驗(yàn)。熟悉物理

產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用