一種具備電場自適應(yīng)特性的柔性電子電噴印設(shè)備及其方法

其它領(lǐng)域

本發(fā)明屬于柔性器件制造相關(guān)領(lǐng)域，并公開了一種具備電場自 適應(yīng)特性的柔性電子電噴印設(shè)備，其包括 XYZ 三軸運(yùn)動(dòng)模塊、電噴印 模塊和可變電場模塊，其中該XYZ三軸運(yùn)動(dòng)模塊用于控制電噴印模塊 與可變電場模塊的空間位置，進(jìn)而控制陣列噴嘴的位置;該電噴印模 塊用于噴出高速帶電溶液到基板上制備柔性電子，該可變電場模塊則 用于提供可變化的電場，進(jìn)而由電場控制陣列噴嘴噴出的液滴或射流 在基板上的落點(diǎn)。本發(fā)明還公開了相應(yīng)的工藝方法。通過本發(fā)明，整 個(gè)柔性電子制造工藝過程可實(shí)現(xiàn)電場的自適應(yīng)協(xié)調(diào)，并

產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用