納米尺度下大面積散射場的快速測量方法及裝置

其它領域

本發(fā)明公開了一種納米尺度下快速大面積海量散射場測量的裝 置，包括:起偏端，用于將光束進行調(diào)制得到一定偏振態(tài)的光束;檢 偏端，用于將偏振態(tài)光束進行解調(diào)以獲得樣品信息;還包括物鏡和第 一透鏡，待測樣品位于物鏡的前焦面上，偏振態(tài)光束經(jīng)過該第一透鏡 聚焦在物鏡的后焦面，待測樣品散射光被物鏡收集并成像于其后焦面， 進而成像于圖像采集裝置上;以及掃描振鏡，用于使得所述物鏡出射 到樣品上的光束角度改變，獲得待測樣品不同入射角下的散射場分布 圖像，實現(xiàn)對待測樣品納米尺度下的快速精確的形貌測量。本發(fā)明還 公開了相應的

產(chǎn)業(yè)化應用