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一種無向圖或有向有圈圖的層次化顯示方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
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關鍵詞：
銅銅鍵合工藝
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種銅納米線的銅銅鍵合工藝。在基片表面依次 沉積粘附層和種子層；在種子層上制備一層光刻膠，并在光刻膠上制 作圓孔；在圓孔中電鍍銅，得到銅凸點；利用水熱法在銅凸點表面生 長 Cu(OH)2 納米線；去除殘余的光刻膠；對 Cu(OH)2 納米線進行熱分 解，得到 CuO 納米線；對 CuO 納米線進行還原，得到銅納米線；利 用上述步驟分別在兩個基片上制得銅納米線，通過熱壓方式對這兩個 基片上的銅納米線進行鍵合。本發明通過還原制得銅納米線，直接應于后續鍵合，避免了額外的去氧化層步驟，能在較低的
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