一種微納深溝槽結(jié)構(gòu)在線測量方法及裝置

其它領(lǐng)域

本發(fā)明公開了一種微納深溝槽結(jié)構(gòu)在線測量方法及裝置。其方法是將線偏振紅外光束投射到含有深溝槽結(jié)構(gòu)的樣件表面，對溝槽結(jié)構(gòu)各界面反射光形成的干涉信號進(jìn)行濾波等處理得到測量反射光譜；采用基于偏振的等效介質(zhì)理論構(gòu)建該深溝槽結(jié)構(gòu)等效光學(xué)模型，計(jì)算其理論反射光譜；采用人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)結(jié)合局部搜索算法的快速參數(shù)提取方法，通過理論反射光譜擬合測量反射光譜，快速提取溝槽的寬度和深度，實(shí)現(xiàn)深溝槽幾何形貌參數(shù)的精確在線測量。裝置包括紅外光源，紅外偏振片，干涉儀，平面反射鏡和二個離軸拋物鏡以及紅外探測器。裝置可實(shí)現(xiàn)場效應(yīng)管和動態(tài)

試用