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一種單腔多孔式節流結構的氣體軸承
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.74jv82s.xyz
關鍵詞：
氣體軸承
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種單腔多孔式節流結構的氣體軸承，其特征在于：在氣體軸承上開有中心孔，該中心孔內鑲嵌有圓柱體，該圓柱體的直徑為 5～10mm，長度為 0.1～2mm，該圓柱體上開有微型孔陣列，微型孔的孔徑為 1～100μm，微型孔陣列構成節流器，中心孔的上端開有一個圓柱體腔作為進氣腔，中心孔的下端開有一個圓柱體腔作為壓力腔，壓力腔與進氣腔的直徑具有相同量級，為 1～10mm，壓力腔的深度為 0.01～0.5mm。這種單腔多孔式節流結構的氣體軸承具有良好的穩定性和力學性能，能應用于各種超精密運動平臺中，實
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