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一種用于微納米顆粒表面修飾的裝置
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.74jv82s.xyz
關鍵詞：
納米顆粒
所屬領域:
項目成果/簡介:
本實用新型公開了一種用于微納米顆粒表面修飾的裝置，包括：反應腔，其內部形成的空腔用于作為前驅體與微納米顆粒的反應空間；多個前驅體供應裝置，其分別通過管道與所述反應腔相通以提供不同的前驅體；載氣輸送系統，前驅體通過該載氣輸送系統輸出的載氣輸送到反應腔中；以及粉體顆粒裝載裝置，用于承載待修飾的微納米顆粒；通過多個前驅體供應裝置分別向反應腔交替地輸送前驅體，并進入旋轉的粉體顆粒裝載裝置中以與微納米顆粒表面接觸進行原子層沉積反應，從而在微納米顆粒的表面形成包覆薄膜，實現表面修飾。本實用新型還公開了利用上述裝
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