一種對射式多焦點激光分離脆性透射材料方法及裝置

新材料及其應用

本發明公開了一種對射式多焦點激光分離脆性透射材料方法及

裝置，該方法采用相同的工藝參數，在待分離脆性透射材料的厚度方

向兩側，每側利用同軸激光分別穿過多焦點鏡片組并反向對射，使脆

性透射材料內部產生的焦點數量加倍，以改善脆性透射材料沿厚度方

向上對激光能量吸收的均勻性，使脆性透射材料沿厚度方向的受熱膨

脹均勻性增強，激光多焦點光束離開后，沿脆性透射材料厚度方向迅

速冷卻而產生拉應力，實現激光對厚脆性透射材料的分離。裝

未應用