基于超材料的太赫茲單譜信號探測器及其制備方法

人工智能

本發明公開了一種基于超材料的太赫茲單譜信號探測器，包括

自下而上依次設置的襯底層、N 型砷化鎵層、二氧化硅層與超材料層、

歐姆電極和肖特基電極；其中超材料層為具有周期性微納米結構的金

屬開環共振單元陣列，金屬開環共振單元陣列包含了一種圖形及其特

征尺寸參數，該圖形對于太赫茲電磁波具有完全吸收特性，通過改變

金屬開環共振單元的結構和尺寸參數可以調控對應的電磁波吸收頻

段，通過改變 N 型砷化鎵的耗盡層寬度可以調控超材料層中金屬開環

試用