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鎂基金屬玻璃薄膜及其制備方法和應(yīng)用

2021-04-14 00:00:00
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關(guān)鍵詞: 玻璃薄膜
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項(xiàng)目成果/簡(jiǎn)介:

本發(fā)明公開了一種鎂基金屬玻璃薄膜及其制備方法,它的化學(xué)

通式為 MgaCubYc,其中,a,b,c 為原子百分比,46.30≤a≤58.01,

24.61≤b≤28.96,13.18≤c≤24.74,且 a+b+c=100。本發(fā)明還公開了

一種鎂基金屬玻璃薄膜的制備方法,其采用磁控濺射制備得到,包括:

將 Mg、Cu 和 Y 按一定配比制備成合金靶;使用單晶硅片及普通玻璃

片作為薄膜的基底;將合金靶及薄膜基底放入濺射腔中,進(jìn)行磁控

項(xiàng)目階段:
未應(yīng)用
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