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一種防腐耐磨鐵基非晶薄膜及其制備方法

2021-04-14 00:00:00
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關(guān)鍵詞: 鐵基非晶薄膜
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本發(fā)明公開(kāi)了一種防腐耐磨鐵基非晶薄膜及其制備方法,其包

括的成分及該成分的原子百分比含量分別為:14.0~22.0at.%Cr,6.0~

16.0at.%Mo,4.0~7.0at.%B,4.0~20.0at.%C,0.0~3.0at.%W 以及余

量的 Fe。其制備方法包含 S1 制備單一合金靶材;S2 選擇襯底材料,

將襯底表面進(jìn)行平整化,然后清洗并吹干待用;S3 進(jìn)行磁控濺射,其

中,背景真空度值不高于 5x10<sup

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