一種無電極式半導體氣體傳感器及其制備方法

資源與環境

本發明公開了一種無電極式半導體氣體傳感器及其制備方法。

采用無電極式設計，利用靈敏度高、導電性能好的膠態納米晶復合材

料制作氣敏層，將其于室溫下涂覆在絕緣襯底上形成器件，無需使用

額外的信號電極，器件結構和工藝步驟簡單，且利于降低成本，適于

批量生產，而且適于制作成柔性氣體傳感器。本發明的氣體傳感器具

有輕、薄、短、小和便攜性好的特點，而且工作溫度低，具有良好的

應用前景。

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