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固支梁間接加熱在線式已知頻率微波相位檢測器

2021-04-14 00:00:00
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關(guān)鍵詞: 間接加熱在線
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電子信息
項(xiàng)目成果/簡介:

本發(fā)明的固支梁間接加熱在線式已知頻率微波相位檢測器由六端口固支梁耦合器、微波相位檢測器和間接加熱式微波功率傳感器級(jí)聯(lián)構(gòu)成;六端口固支梁耦合器由共面波導(dǎo),介質(zhì)層,空氣層和固支梁構(gòu)成;共面波導(dǎo)制作在SiO2層上,固支梁的下方沉積介質(zhì)層,并與空氣層共同構(gòu)成耦合電容結(jié)構(gòu),兩個(gè)固支梁之間的共面波導(dǎo)長度為λ/4;六端口固支梁耦合器的第一端口到第三端口、第四端口及第一端口到第五端口、第六端口的功率耦合度分別相同,待測信號(hào)經(jīng)六端口固支梁耦合器的第一端口輸入,由第三端口和第五端口輸出到間接加熱式微波功率傳感器,由第四

項(xiàng)目階段:
小批量或小范圍應(yīng)用
知識(shí)產(chǎn)權(quán)編號(hào):
2017100526862
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