一種應用于掃描電鏡中的加熱裝置

高端裝備制造

本實用新型提供了一種應用于掃描電鏡中的加熱裝置，該裝置包括：樣品坩堝、加熱芯陶瓷、電熱絲、熱輻射屏蔽結構，樣品坩堝布置于所述加熱芯陶瓷的上端；電熱絲以雙螺旋的形式纏繞于所述加熱芯陶瓷表面，且對加熱芯陶瓷加熱，電熱絲的材料為摻雜鎢絲；熱輻射屏蔽結構包括內不銹鋼屏蔽層、次外不銹鋼屏蔽層、外不銹鋼屏蔽層、上不銹鋼屏蔽層、次上不銹鋼屏蔽層以及屏蔽底座；內不銹鋼屏蔽層、次外不銹鋼屏蔽層、外不銹鋼屏蔽層層與層之間均為真空，上述三層的直徑比例由熱損失方程確定。本實用新型提供的加熱裝置加熱效率高、體積小、屏蔽效果好，克服了現有技術中加熱裝置影響掃描電正常工作的缺陷。

試用