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武漢科技大學
武漢科技大學 湖北省
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一種Sn摻雜CrO2薄膜及其制備方法

2021-01-12 00:00:00
云上高博會 http://www.74jv82s.xyz
關鍵詞: CrO2薄膜
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所屬領域:
資源與環境
項目成果/簡介:

小試階段/n磁性半金屬CrO2薄膜在自旋電子器件中有廣闊的應用前景,然而,其化學性質不夠穩定,即使在室溫下也容易轉化為Cr2O3。本發明采用SnI4和CrO3作為前驅物,通過化學氣相沉積(CVD)成功制備出Sn摻雜CrO2薄膜,使薄膜的熱穩定性大大提升,從而解決了CrO2薄膜穩定性的問題。

項目階段:
小批量或小范圍應用
知識產權編號:
ZL201410207290.7
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