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高精度三軸加速度計產(chǎn)品工藝研發(fā)
2021-01-12 00:00:00
云上高博會
http://www.74jv82s.xyz
關(guān)鍵詞：
三軸加速度計
所屬領(lǐng)域:
項目成果/簡介:
已有樣品/n針對產(chǎn)業(yè)界對MEMS 代工的迫切需求，微電子所科研人員以高精度三軸加速度
計開發(fā)為牽引展開攻關(guān)，致力于在現(xiàn)有8 英寸硅工藝線上實現(xiàn)與CMOS 工藝兼容的
通用MEMS 加工平臺技術(shù)，成功開發(fā)出大深寬比MEMS 結(jié)構(gòu)刻蝕、MEMS 與ASIC 晶圓
堆疊、TSV 電學(xué)連接及晶圓級蓋帽鍵合封裝等關(guān)鍵工藝技術(shù)的量產(chǎn)，最終實現(xiàn)了TSV
的ASIC 晶圓、MEMS 結(jié)構(gòu)晶圓及蓋帽晶圓的三層鍵合工藝，并順利交付首款三軸加
速度計產(chǎn)品。
項目階段:
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