一種非接觸式金屬電遷移測量方法和裝置

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本發明公開了一種非接觸式金屬互連線電遷移測量方法，具體為：使用平行光照射標定用金屬互聯線，同時采用四探針檢測標定用金屬互聯線的電阻；建立四探針檢測到的標定用金屬互聯線的電阻與標定用金屬互聯線的表面反射光強的對應關系；使用平行光照射待測金屬互聯線；實時檢測待測金屬互聯線表面反射光的強度；依據建立的電阻與反射光強的對應關系獲取待測金屬互聯線在某反射光強下對應的電阻值。本發明還提供了測量裝置，主要包括四探針、平行光光源、光學顯微鏡和計算機。本發明不接觸試樣的情況下對試樣上的較大范圍金屬互連線電遷移同時進行實時檢測，與普通的四探針檢測方法相比，檢測范圍更大，時間更快、成本更低。

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