采購品目:A02330300 電子工業生產設備
預計采購時間:2022-11
采購快速退火爐兩臺,參數性能滿足:不低于6英寸晶圓,最高溫度不低于1200度,溫度差異低于±2度,溫度均勻性0.5%,升溫速率100度/秒,6-8寸樣品臺,配機械泵抽真空,氣體Ar,N2,O2;服務要求:可提供技術支持和售后服務,設備質保期12個月。
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