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【政府采購意向】原子層沉積
招標單位：
招標年份：
所屬地區：
招標類型：
采購方式：
項目概況：
采購品目：A033499其他專用儀器儀表
預計采購時間：2022-11
項目基本情況：
項目名稱：【政府采購意向】原子層沉積
預算金額：210 萬元
采購需求：
購置1臺。 1.要求反應腔體可以用來沉積8英寸（200毫米）的襯底，兼容8英寸以下的襯底。 需要配置的4條管路均須配置獨立的質量流量計（MFC）、壓強傳感器、脈沖閥，液態源與加熱源分別配置獨立的溫度傳感器。
提交投標文件截止時間、開標時間和地點：
截止時間：2022-11-30 00:00
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